干式真空泵的優(yōu)點(diǎn)
對(duì)于這些不同類(lèi)型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。
干式真空泵使工作容積中無(wú)油，因此帶來(lái)了不少益處。首先，它增強(qiáng)了泵的可靠性。干式泵不像油密封泵那樣受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，所需的維護(hù)工作更少。減少用油量還意味著減少了認(rèn)真處理油而花費(fèi)的成本。使用干式真空泵還使可能的污染減到最小程度，這種污染既可能出現(xiàn)在油里——影響了泵的性能，也可能出現(xiàn)在某些極端的情況下，例如在最終產(chǎn)品中。
要想成功地更換現(xiàn)有的基于油的真空泵系統(tǒng)，關(guān)鍵是要找到針對(duì)特定應(yīng)用的最合適的解決方案。為了看一下可以受益的不同類(lèi)型的應(yīng)用，下面介紹四種不同的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程，以及它們使用干式真空泵的主要好處有哪些。
大部分用戶是制藥公司，它們需要用設(shè)備進(jìn)行生物分析，對(duì)藥物予以鑒定以進(jìn)行臨床試驗(yàn)。干式真空泵解決方案更好地確保了高精度測(cè)量，這對(duì)于某些機(jī)構(gòu)來(lái)說(shuō)是必不可少的，這些機(jī)構(gòu)必須滿足美國(guó)食品和藥物管理局（FDA）以及其他一些國(guó)家部門(mén)所制定的規(guī)章制度。通過(guò)使用干式真空泵，消除了污染的危險(xiǎn)。
綜上，它們的應(yīng)用日益增加的原因很清楚，因?yàn)樗鼈兛煽俊⒛湍ァ⒁子诰S護(hù)，給結(jié)果帶來(lái)重大的好處。例如在滾動(dòng)噴涂行業(yè)里，該環(huán)境中所用的一臺(tái)油密封真空泵每年的維護(hù)費(fèi)用大約是一臺(tái)新泵成本的40％。干式泵使正常工作時(shí)間更長(zhǎng)，并且由于它們具有可重復(fù)性，所以使生產(chǎn)的產(chǎn)量更高，節(jié)約了成本。該技術(shù)不僅安全，而且它的設(shè)計(jì)使其即使在頗為苛刻的工作環(huán)境中也能夠無(wú)故障的工作。
